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2月12日，半导体设备ETF（159516）涨0.61%，成交额10.58亿元。当日份额增加1.30亿份，最新份额为120.19亿份，近20个交易日份额增加40.54亿份。最新资产净值计算值为217.97亿元。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为81.36%，近一个月回报为-0.46%。
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